特許

J-GLOBAL ID：200903090840492111

X線集光装置

発明者： 満田 和久 ,  江副 祐一郎
出願人/特許権者： 独立行政法人 宇宙航空研究開発機構
代理人 (5件)： 熊倉 禎男 ,  大塚 文昭 ,  今城 俊夫 ,  西島 孝喜 ,  上杉 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-007263
公開番号（公開出願番号）：特開2006-194758
出願日： 2005年01月14日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 軽量かつ比較的容易に製造できるX線反射装置及び当該X線反射装置を構成するためのX線反射素子を提供する。【解決手段】 本発明に係るX線反射素子は、固体シリコンからなる本体と、前記本体の表面から裏面に貫通するよう形成された複数のスリットとを有し、前記各スリットの壁面をX線反射面とする。本発明に係るX線反射装置は、上記いずれかのX線反射素子を、互いのスリットが所定の位置関係となるよう複数段積層して構成するか、互いのスリットが所定の位置関係となるよう横方向に並べて構成するか、あるいは、X線反射素を、互いのスリットが所定の位置関係となるよう上下方向に積層し、かつ、横方向に並べて構成することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

シリコン板からなる本体と、 エッチングプロセスにより前記本体の表面から裏面に貫通するよう形成された複数のスリットとを有し、 前記各スリットの壁面をX線反射面とすることを特徴とするX線反射素子。

IPC (4件)：

G21K 1/06 ,  G01N 23/225 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G21K1/06 B ,  G21K1/06 M ,  G01N23/225 ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 531A

Fターム (11件)：

2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001KA01 ,  2G001SA01 ,  2G001SA29 ,  2G001SA30 ,  2H097AA02 ,  2H097CA15 ,  2H097JA01 ,  5F046GB01