特許
J-GLOBAL ID:200903090857296154
歪多重量子井戸構造およびその成長方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
谷 義一 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-025092
公開番号(公開出願番号):特開平10-223987
出願日: 1997年02月07日
公開日(公表日): 1998年08月21日
要約:
【要約】【課題】 歪多重量子井戸構造において、歪井戸層の島状の成長、組成分離を防いで特性劣化を防止する。【解決手段】 歪多重量子井戸構造は、基板と異なる格子定数を有する井戸層と、この井戸層を両側から挟むように配置された障壁層からなる歪多重量子井戸構造であって、井戸層に歪分布が設けられている。
請求項(抜粋):
基板と異なる格子定数を有する井戸層と、障壁層とを、交互に複数層積層した歪多重量子井戸構造において、前記井戸層に歪分布を設けたことを特徴とする歪多重量子井戸構造。
IPC (4件):
H01S 3/18
, G02F 1/025
, H01L 29/06
, H01L 21/205
FI (4件):
H01S 3/18
, G02F 1/025
, H01L 29/06
, H01L 21/205
引用特許:
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