特許
J-GLOBAL ID：200903090861758030
物体移動装置及びその制御ユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-101011
公開番号（公開出願番号）：特開平7-098607
出願日： 1994年05月16日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：
【要約】【目的】 変形を誘発するジオメトリック誤差、負荷及び温度を補償することによって物体の移動の精度を向上する物体移動装置を得る。【構成】 誤差及び変形の作用を定期的に更新する補償テーブルに又はパラメータ化して記憶し、この補償テーブル又はパラメータ化記憶から位置の関数としての誤差値を得る。装置の瞬間の全体的状態を考慮することができる間に適当な誤差値を選択する。導き出した誤差値を使用してフィードバックループにおける測定位置を修正又はフィードバックループを使用することなく駆動手段のためのステアリング信号を変更けする。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの方向に物体を移動するための駆動機構と、前記駆動機構に接続し、この駆動機構に加えるべきステアリング信号を繰り返し発生することによって前記物体を目標位置に至る運動を制御する制御ユニットと、実際の位置と前記目標位置との間のずれを生じさせる駆動機構における誤差の作用を補償する誤差補償手段とを備える物体移動装置において、前記制御ユニットに、前記駆動機構における前記誤差の作用を知得できるソースを設け、ステアリング信号発生の各繰り返し中に、又はこのような繰り返しの少なくとも大部分にわたり前記ソースに前記制御ユニットがアクセスし、誤差作用を示す誤差値を取得し、ステアリング信号を発生する間に誤差作用を考慮するよう前記制御ユニット及び前記誤差補償手段を機能的に統合したことを特徴とする物体移動装置。
引用特許：
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