気体原子または気体分子の飛行時間型速度測定装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-360782
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162386
出願日： 2000年11月28日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【課題】電場の漏れによる測定対象への悪影響を最小限とし、かつ、低速度領域に至るまで速度分布を歪ませることなく、高効率な速度分析を実現する。【解決手段】気体原子または気体分子をレーザー照射によりイオン化するイオン化部(3)と、イオン化部で生成されたイオンを導入し速度分離を行うためのドリフトチューブ(6)と、ドリフトチューブ(6)を通過したイオンを加速すると同時に空間的に収束させるための二段加速収束部(8)と、この二段加速収束部(8)から放出されたイオンを検出するイオン検出部(11)とを備える飛行時間型速度測定装置であって、前記ドリフトチューブ(6)のイオン化部側に電気的に絶縁された引き込み部(7)を備え、また、前記二段加速収束部(8)が、ドリフトチューブ側に設置された第一グリッド(9)とイオン検出部側に設置された第二のグリッド(10)とからなり、第一グリッド(9)とドリフトチューブ(6)のイオン放出口との距離dと引き込み部を含むドリフトチューブ長Lとが、L/dが10〜50の範囲となるように設定されているものとする。

請求項（抜粋）：

気体原子または気体分子をパルスレーザー照射によりイオン化するイオン化部と、イオン化部で生成されたイオンを導入し速度分離を行うためのドリフトチューブと、ドリフトチューブを通過したイオンを加速すると同時に空間的に収束させるための二段加速収束部と、この二段加速収束部から放出されたイオンを検出するイオン検出器とを備える飛行時間型速度測定装置であって、前記二段加速収束部が、ドリフトチューブ側に設置された第一のグリッドとイオン検出部側に設置された第二のグリッドとからなり、第一のグリッドとドリフトチューブのイオン放出口との距離dと引き込み部を有する場合にはこれを含むドリフトチューブ長Lとが、L/dが10〜50の範囲となるように設定されていることを特徴とする飛行時間型速度測定装置。

IPC (3件)：

G01N 27/62 , G01N 27/64 , H01J 49/40

FI (3件)：

G01N 27/62 K , G01N 27/64 B , H01J 49/40

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