ウエハ洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-033437
公開番号（公開出願番号）：特開平7-245282
出願日： 1994年03月03日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：

【要約】【目的】本発明は、デバイスにダメージを与えることなく、ウエハの上に付着している汚染物を除去する洗浄装置を提供すること。【構成】当該装置は、ウエハ1を構成する部材と反応しない液体を供給する液体供給手段23と、液体供給手段23から供給されてくる液体を分断し、これを液滴21に変える液滴形成手段10を備える。当該装置は、さらに、液滴21をウエハ1の表面に向けて噴出する噴出手段22を備える。

請求項（抜粋）：

ウエハの上に付着している汚染物粒子を除去するウエハ洗浄装置であって、前記ウエハを構成する部材と反応しない液体を供給する液体供給手段と、前記液体供給手段から供給されてくる液体を分断し、これを液滴に変える液滴形成手段と、前記液滴を前記ウエハの表面に向けて噴出する噴出手段と、を備えたウエハ洗浄装置。

IPC (6件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B05B 1/26 , B05B 5/08 , B05B 7/00 , B08B 3/02

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開平3-238074
特開平2-270322
ウェーハの洗浄方法およびその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-089084 出願人：新日本製鐵株式会社

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審査官引用 (13件)

特開平1-207182
特開平1-207182
特開平3-238074

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