特許
J-GLOBAL ID：200903090969739857

高さ測定装置

発明者：
清水 房生

清水 房生 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-023186
公開番号（公開出願番号）：特開2006-194846
出願日： 2005年01月31日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
【課題】 一の材料層に透明或いは半透明の材料層が形成されてなる被検物に対し、一回の走査・撮像工程で、その最表層の高さのみならず、それ以外の層の上面(或いは下面)高さをも測定できるようにする。【解決手段】 記憶装置32から走査画像の読み出しを開始した後、最初に検出した光量ピークに対応して求められる焦点面FSの高さ位置から被検部位の高さを算出する構成の高さ測定装置において、走査画像の読み出し順を、走査画像の取得順に対して同順、逆順のいずれについても設定できるようにする。【選択図】 図9
請求項（抜粋）：
共焦点光学系と、 前記共焦点光学系の焦点面を前記被検物に対してその高さ方向に相対移動させながら異なる高さ位置ごとに前記被検物の画像データを取得する画像取得手段と、 前記画像データを記憶する画像記憶手段と、 前記画像記憶手段から前記画像データを読み出し、前記被検物中の被検部位に相当する領域についての光量ピークを検出する光量ピーク検出手段と、 前記光量ピークに対応する前記焦点面の高さ位置から前記被検部位の高さを算出する高さ算出手段と、 前記光量ピーク検出手段の前記画像データの読み出し順を前記画像取得手段の画像データの取得順に対して同順、逆順のいずれかに設定する読み出し順設定手段とを備えたことを特徴とする高さ測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/02 ,  G01B 11/06 ,  G02B 21/00
FI (3件)：
G01B11/02 H ,  G01B11/06 H ,  G02B21/00
Fターム (41件)：
2F065AA02 ,  2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA30 ,  2F065BB05 ,  2F065BB17 ,  2F065BB22 ,  2F065BB23 ,  2F065CC19 ,  2F065CC31 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065GG02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL21 ,  2F065LL30 ,  2F065LL65 ,  2F065MM16 ,  2F065MM26 ,  2F065MM28 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2H052AA08 ,  2H052AC04 ,  2H052AC27 ,  2H052AF02 ,  2H052AF14 ,  2H052AF21
引用特許：
出願人引用 (1件)
  • 形状測定装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-195735   出願人：株式会社ニコン
審査官引用 (4件)
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