特許

J-GLOBAL ID：200903091017681088

処理ユニットおよび処理システム

発明者： 荒木 真一郎
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-153321
公開番号（公開出願番号）：特開2001-332483
出願日： 2000年05月24日
公開日（公表日）： 2001年11月30日
要約：

【要約】【課題】 中央搬送タイプの処理装置にもトラック搬送タイプの処理装置にも適用することができる処理ユニットを提供すること、およびそような処理ユニットを適用した処理システムを提供すること。【解決手段】 基板Gに対して複数の工程からなる処理を施すための処理装置100,200に用いられ、複数の工程のいずれかの処理を行う処理ユニット(HP)は、その筐体201の側面の3方向に基板Gの搬入および/または搬出のための開口204,205,206を有する。

請求項（抜粋）：

基板に対して複数の工程からなる処理を施すための処理装置に用いられ、前記複数の工程のいずれかの処理を行う処理ユニットであって、その側面の3方向に基板の搬入および/または搬出のための開口を有することを特徴とする処理ユニット。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  B65G 49/06 ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68

FI (5件)：

B65G 49/06 Z ,  G03F 7/16 502 ,  G03F 7/30 502 ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 562

Fターム (24件)：

2H025AA00 ,  2H025AB17 ,  2H025EA05 ,  2H025FA14 ,  2H096AA27 ,  2H096CA14 ,  2H096GA29 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA07 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046KA01 ,  5F046KA07 ,  5F046LA01 ,  5F046LA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 基板処理装置及び基板処理システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-352708   出願人：大日本スクリーン製造株式会社