特許
J-GLOBAL ID：200903091046948913
反射特性測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小谷 悦司 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-215960
公開番号（公開出願番号）：特開平9-061243
出願日： 1995年08月24日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：
【要約】【課題】 信頼性が高く、短時間でSCEの反射特性を求める。【解決手段】 第1の光源部10の光源11は積分球1の内壁1aの広い部分領域5を最初の直接照射域として照射し、第2の光源部20の光源21は鏡面反射光源領域4を限定的に照射する。鏡面反射光源領域4は、試料3表面の法線2aに関して測定用開口31と対称な位置になっている。そして、光源11,21を個別に点灯して、試料用分光手段30によって、試料3の反射光の第1、第2の分光強度を測定し、この分光強度から演算制御手段50によって、第1、第2の見かけの反射率を算出する。そして、鏡面反射光を含まない場合の試料の反射特性が得られるように設定された第1の鏡面反射除去重み係数及び第2の鏡面反射除去重み係数を用いて、第1、第2の見かけの反射率を線形結合し、鏡面反射光を含まない場合の試料の反射特性を求める。
請求項（抜粋）：
第1の光源用開口、第2の光源用開口、試料用開口及び測定用開口が形成され、上記試料用開口に配置された試料を照明する積分球と、上記測定用開口に配設され、上記試料からの反射光を受光してその反射強度を測定する測定手段と、上記第1の光源用開口に配設され、上記積分球内に光束を導く第1の光源と、上記第2の光源用開口に配設され、上記測定用開口から上記試料への光軸と上記試料に関して鏡面関係を有する上記積分球の位置から上記試料への光軸を中心に光束が形成されるように上記積分球内に光束を導く第2の光源と、上記第1の光源と第2の光源をそれぞれ個別に点灯させ、上記第1の光源が点灯したときの上記試料からの反射光の反射強度である第1の反射強度及び上記第2の光源が点灯したときの上記試料からの反射光の反射強度である第2の反射強度を測定させる測定制御手段と、鏡面反射光を含まない場合の試料の反射特性が得られるように設定された第1の鏡面反射除去重み係数及び第2の鏡面反射除去重み係数を記憶する鏡面反射除去記憶手段と、上記第1、第2の反射強度から上記試料の第1、第2の反射特性を算出するとともに、上記第1の反射特性と上記第2の反射特性とを上記第1、第2の鏡面反射除去重み係数を用いて線形結合して、鏡面反射光を含まない場合の上記試料の反射特性を算出する鏡面反射除去演算制御手段とを備えたことを特徴とする反射特性測定装置。
引用特許：
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