基板洗浄装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松本武彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-088781
公開番号（公開出願番号）：特開平7-297160
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】洗浄液の消費量を少なくし、洗浄むらを少なくする。【構成】この基板洗浄装置は、基板1を水平に保持する回転台2と、移動洗浄液供給部3とを備えている。移動洗浄液供給部3は、回転台2に対して水平方向に移動自在なノズル部20を有し、ノズル部20には移動方向と直交する方向に延びるスリット20aが形成されている。ノズル部20は水平方向に移動しながら基板表面に洗浄液を供給する。

請求項（抜粋）：

基板表面の洗浄処理を行う基板洗浄装置であって、前記基板を水平に保持する基板保持部と、前記基板保持部に対して水平方向に相対移動自在であり、前記相対移動方向と交差する方向に延びるスリット状洗浄液吐出部を有し、前記スリット状洗浄液吐出部を前記基板保持部に対して水平方向に相対移動させながら前記スリット状洗浄液吐出部から前記基板表面に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、を備えた基板洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 351 , B08B 3/02 , G03F 1/08

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平3-093230
特開平4-213827
特開昭63-305517

全件表示

審査官引用 (2件)

特開平3-093230
特開平4-213827

前のページに戻る