特許
J-GLOBAL ID:200903091107095684
モノマーの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-060308
公開番号(公開出願番号):特開2001-247513
出願日: 2000年03月06日
公開日(公表日): 2001年09月11日
要約:
【要約】【課題】 アルコールの脱水物の含有量が少ないレジスト用モノマーをエステル交換反応により製造する方法を提供する。【解決手段】 原料エステルと原料アルコールとのエステル交換反応によりレジスト用ポリマーの原料モノマーを製造する方法において、原料エステルおよび原料アルコール中の水分含有率を200ppm以下となるように脱水した後、エステル交換反応を開始することを特徴とするレジスト用ポリマーの原料モノマーの製造方法。
請求項(抜粋):
原料エステルと原料アルコールとのエステル交換反応によりレジスト用ポリマーの原料モノマーを製造する方法において、原料エステルおよび原料アルコール中の水分含有率を200ppm以下となるように脱水した後、エステル交換反応を開始することを特徴とするレジスト用ポリマーの原料モノマーの製造方法。
IPC (9件):
C07C 67/03
, B01J 31/12
, C07C 69/54
, C07D307/33
, C07D309/30
, G03F 7/038 601
, C07B 61/00 300
, C08F 20/18
, C08F 20/28
FI (9件):
C07C 67/03
, B01J 31/12 X
, C07C 69/54 B
, C07D309/30 D
, G03F 7/038 601
, C07B 61/00 300
, C08F 20/18
, C08F 20/28
, C07D307/32 Q
Fターム (29件):
2H025AA01
, 2H025AB16
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE00
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 4C037FA10
, 4C062BB60
, 4H006AA02
, 4H006AB46
, 4H006AC13
, 4H006AC48
, 4H006BA10
, 4H006BA11
, 4H006BJ30
, 4H006KA03
, 4H006KE20
, 4H039CA42
, 4H039CA66
, 4H039CD10
, 4H039CD40
, 4J100AL08P
, 4J100BC07P
, 4J100BC53P
, 4J100CA01
, 4J100JA38
引用特許:
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