インクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ及びその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：梅田勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252926
公開番号（公開出願番号）：特開平9-094955
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【課題】簡略な構造で印字品位のばらつきが少なく、集積化が可能でかつ生産性の高いインクジェット記録ヘッド用のアクチュエータ及びその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のインクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータは、シリコン基板の裏面をエッチングすることにより形成される互いに隔離したマトリクス状のシリコンダイヤフラムと、前記シリコン基板表面の前記シリコンダイヤフラム上に配置される圧電体とを備え、前記各圧電体はシリコン基板と接する面に共通電極を有し、他方の面に信号電極を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

裏面をエッチングすることにより形成される互いに隔離したマトリクス状のシリコンダイヤフラムを有するシリコン基板と、該シリコン基板表面の前記シリコンダイヤフラム上に配置される圧電体とを備え、前記各圧電体はシリコン基板と接する面に共通電極を有し、他方の面に信号電極を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド用圧電アクチュエータ。

IPC (3件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16

FI (3件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 D

引用特許：

審査官引用 (7件)

特表平5-504740
特表平5-504740
特開平3-297653

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