特許

J-GLOBAL ID：200903091125679715

質量分析装置

発明者： 古橋 治 ,  小河 潔 ,  吉田 佳一 ,  瀬藤 光利
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所 ,  大学共同利用機関法人自然科学研究機構
代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-359847
公開番号（公開出願番号）：特開2007-165116
出願日： 2005年12月14日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】大気圧雰囲気下で粒子線を試料に照射してイオン化を行う場合、粒子線の照射範囲を絞ることができないため空間分解能を高めることが困難であった。【解決手段】大気圧雰囲気にあるイオン化室1内でノズル8から噴射される粒子線の経路に小孔6を穿設した粒子線遮蔽板5を配設し、該小孔6を通過した一部の粒子線を試料3に照射する。そして、試料3上の粒子線の照射部位4から発生したイオンをイオン輸送管7で収集して質量分析部に送る。さらに、この遮蔽板5の位置を固定し試料3を保持する試料ステージ2を二次元面内で移動させることにより、試料3上での粒子線の照射部位4を移動させる走査を行い、それにより試料3上の所定範囲の定性情報や定量情報の二次元分布を取得可能とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料に粒子線を照射して該試料に含まれる成分をイオン化するイオン源を具備する質量分析装置において、 前記試料に照射される粒子線の通過経路上に開口を有する粒子線通過域制限部材を配置し、前記開口を通過した粒子線を試料に照射することを特徴とする質量分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/14 ,  G01N 27/62

FI (2件)：

H01J49/14 ,  G01N27/62 G

Fターム (11件)：

2G041CA01 ,  2G041DA05 ,  2G041DA18 ,  5C038GG02 ,  5C038GG03 ,  5C038GG08 ,  5C038GH02 ,  5C038GH06 ,  5C038GH09 ,  5C038GH11 ,  5C038GH13

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 米国公開特許公報2005/0056775