特許

J-GLOBAL ID：200903091150199850

高強度を有しかつスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット

発明者： 姜 仁鎬 ,  小田 淳一
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 富田 和夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-259564
公開番号（公開出願番号）：特開2000-087229
出願日： 1998年09月14日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：

【要約】【課題】 高強度を有し、大電力スパッタリングを行っても割れ発生がない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲットを提供する。【解決手段】 窒化ケイ素:10〜30mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有し、平均粒径:0.1〜10μmの窒化ケイ素粒が硫化亜鉛素地中に均一分散している組織を有する焼結体からなるスパッタリングターゲット。

請求項（抜粋）：

窒化ケイ素:10〜30mol%を含有し、残りが硫化亜鉛からなる組成を有する焼結体からなることを特徴とする高強度を有しかつスパッタ割れのない光記録媒体保護膜形成用スパッタリングターゲット。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  G11B 7/26 531

FI (2件)：

C23C 14/34 A ,  G11B 7/26 531

Fターム (9件)：

4K029BA51 ,  4K029BA58 ,  4K029BD12 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029DC09 ,  5D121AA04 ,  5D121EE03 ,  5D121EE13

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-143254
  
• 書換え形光情報記録媒体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-080489   出願人：非酸化物ガラス研究開発株式会社
• 誘電体層の成膜方法及び光学式情報媒体の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-114094   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭63-143254