特許

J-GLOBAL ID：200903091177447510

微粉末堆積成膜装置および成膜方法ならびに成膜部材

発明者： 福本 昌宏 ,  山田 基宏 ,  鈴木 卓朗 ,  山口 英二 ,  丹羽 明
出願人/特許権者： 新東ブレーター株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-297338
公開番号（公開出願番号）：特開2009-120914
出願日： 2007年11月15日
公開日（公表日）： 2009年06月04日
要約：

【課題】ノズル内部の噴射材による閉塞または損耗を低減し、かつ、噴射材の定量供給性を改善したエアロゾルデポジション法による微粉末堆積成膜装置およびその成膜方法ならびに成膜部材を提供する。【解決手段】ノズルの入口部に続く円錐状の先端部以降からノズル出口部までの間に粉末供給口を設ける。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ノズル入口部に続く円錐状の先端部以降からノズル出口部までの間に粉末供給口を設けた粉末噴射ノズルを用いることを特徴とするエアロゾルデポジション法による微粉末堆積成膜装置。

IPC (4件)：

C23C 24/04 ,  B05D 1/12 ,  B05B 7/14 ,  C23C 14/00

FI (4件)：

C23C24/04 ,  B05D1/12 ,  B05B7/14 ,  C23C14/00 Z

Fターム (17件)：

4D075AA02 ,  4D075EA02 ,  4D075EC05 ,  4D075EC07 ,  4D075EC10 ,  4F033QB05 ,  4F033QB12Y ,  4F033QB13Y ,  4F033QC03 ,  4F033QE21 ,  4F033QH02 ,  4F033QH10 ,  4K029DA05 ,  4K044BA01 ,  4K044BA11 ,  4K044BA21 ,  4K044CA71

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 脆性材料微粒子成膜体の低温成形法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-256580   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所, 東陶機器株式会社
• コールドスプレー用ノズル並びにコールドスプレー被膜及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-252221   出願人：新日本製鐵株式会社, 国立大学法人信州大学