配線基板の検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西教圭一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-038763
公開番号（公開出願番号）：特開平8-233559
出願日： 1995年02月27日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】配線基板の検査時間を短縮する。【構成】載置台13上に載置された基板部材12のソース信号配線には、信号供給手段17から、枠体14の端子を介して高周波信号が印加される。基板部材12の走査配線には、電圧の絶対値が高周波信号の電圧振幅よりも大きく、電圧極性が正である信号が印加される。信号が印加された状態の基板部材12の赤外線画像を撮像手段15で撮像する。画像処理手段16では、撮像手段15から与えられた画像データから、赤外線の放射量に応じてコントラストの変化する赤外線画像を形成し、前記赤外線画像を配線パターンの等しいサイズの複数の領域に分割する。制御手段18では、分割された各領域の画像を、それぞれ隣接する複数の領域の画像と比較して、相違点を検出する。相違点が検出された場合、その領域には欠陥があると判断する。

請求項（抜粋）：

同一の配線パターンが繰返して形成された配線基板の検査装置において、配線基板を載置する載置台と、前記配線基板の各配線に検査用信号を与える信号供給手段と、前記載置台の上方に設置され、載置された前記配線基板の赤外線画像を撮像する撮像手段と、前記撮像手段の出力に応答し、撮像された赤外線画像を予め定められた大きさの領域に分割する画像処理手段と、前記画像処理手段の出力に応答し、分割された任意の領域の赤外線画像を隣接する複数の領域の赤外線画像と比較し、画像の相違点を検知する検知手段と、前記検知手段の出力に応答し、前記任意の領域内の欠陥の有無を判定する判定手段とを含むことを特徴とする配線基板の検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/30 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/30 C , G02F 1/13 101 , G02F 1/1343 , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (6件)

赤外線検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-099289 出願人：株式会社日立製作所
特開平4-194702
特開平4-194702

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