X線検出器

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：井島藤治 , 鮫島信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-128225
公開番号（公開出願番号）：特開2005-308632
出願日： 2004年04月23日
公開日（公表日）： 2005年11月04日
要約：

【課題】イオンポンプを用いずに真空度の推定および真空度の維持を行う信頼性の高いX線検出器を実現すること。【解決手段】検出ヘッド43の温度センサ44からの温度情報に基づいて、検出ヘッド43が内蔵される容器内の真空度を推定し、この真空度が、設定されたスペクトル波形の分解能を低下させる真空度を超えない様に、逐次ゲッターポンプ47をオンオフし、真空度を維持することとしているので、別途イオンポンプを設けることなく、簡易に真空度の測定およびこの測定に基づいた真空度の調整を行い、信頼性の高いX線検出器4とすることができ、ひいては製品価格の低下とともにイオンポンプの起動時に生じる動作不可時間を無くし真空度の自動制御を行うことを実現させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

X線を検出する半導体検出素子と、前記半導体検出素子から出力される電荷を電圧に変換する積分器の入力段を構成する電界効果トランジスタと、近接して配設される前記半導体および前記電界効果トランジスタを熱的に接続し、保持する検出ヘッドと、前記検出ヘッドを冷却するペルチェ素子と、前記検出ヘッドの温度を計測する温度センサと、前記検出ヘッド、前記ペルチェ素子および前記温度センサを内蔵する容器と、前記容器の内部を真空に保つ真空ポンプと、前記計測される温度情報に基づいて、前記容器の真空度を推定し、前記真空ポンプのオンオフにより前記真空度を制御する制御部を備えることを特徴とするX線検出器。

IPC (2件)：

G01T7/00 , G01T1/24

FI (2件)：

G01T7/00 A , G01T1/24

Fターム (15件)：

2G001AA01 , 2G001BA04 , 2G001CA01 , 2G001DA01 , 2G001DA10 , 2G001GA01 , 2G001KA01 , 2G001RA03 , 2G088EE29 , 2G088FF02 , 2G088FF15 , 2G088GG21 , 2G088GG23 , 2G088JJ01 , 2G088JJ36

引用特許：

出願人引用 (1件)

二重のセル・プレートを備えた複数ポリ・スペーサ・スタック型キャパシタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-066556 出願人：マイクロン・テクノロジー・インコーポレイテッド

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