流体を処理する流体ハンドラおよび方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川口義雄 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-522102
公開番号（公開出願番号）：特表平11-501399
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：

【要約】流体処理方法を開示する。一方法によれば、処理する流体の表面の下方へノズルの先端を移動する。ノズルと流体結合されたポンプを作動させ流体をノズル内へ移動する。ノズルと流体結合された圧力変換装置を作動させノズル内の圧力を監視する。ポンプの動作中に圧力変換装置を用いてノズル内の圧力をほぼ連続的に監視する。ほぼ連続的に監視されるノズル内の圧力に基づいて、流体のノズル内への移動が所期の移動かどうかを判定する。同様な方法を使用して流体をノズル外へ移動することができる。

請求項（抜粋）：

流体を処理する方法であって、 (a)ノズルの先端を、処理する流体の表面の下方へ移動するステップと、 (b)ノズルに流体結合されたポンプを作動させ流体をノズル内へ移動するステップと、 (c)ノズルに流体結合された圧力変換装置を作動させノズル内の圧力を監視するステップと、 (d)ポンプの動作時に圧力変換装置を用いてノズル内の圧力をほぼ連続的に監視するステップと、 (e)ほぼ連続的に監視されるノズル内の圧力に基づいて、流体のノズル内への移動が所期の移動であるかどうかを判定するステップとを含む方法。

引用特許：

審査官引用 (4件)

サンプリングモニタ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-013517 出願人：株式会社東芝
特開平2-196963
特開昭62-194465

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