ペリクル光学素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134836
公開番号（公開出願番号）：特開平9-319069
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】ペリクル光学素子における樹脂フィルムの高い平坦性を確保する一方で、樹脂フィルムを枠に接着する接着剤の塗布量を管理し易くする。【解決手段】枠10には、開口11の外周側に沿って、樹脂フィルム3に接触して樹脂フィルム3の平坦性を確保する接触面12と、接触面12の外周側に沿い且つ接触面12に対して段差を有する接着面13とが形成されている。樹脂フィルム3を枠10に接着するエポキシ系接着剤2は、枠10の接着面13と、この接着面13に対向している樹脂フィルム3の部分との間に施す。

請求項（抜粋）：

光透過性を有する膜材と、開口が形成され該膜材が接着剤で貼付られている枠と、を備えているペリクル光学素子において、前記枠には、前記開口の外周側に沿って、前記膜材に接触して該膜材の平坦性を確保する接触面と、該接触面の外周側に沿い且つ該接触面に対して段差を有し該膜部材に対向する接着面とが、形成され、前記接着剤は、前記枠の前記接着面と、該接着面に対向している前記膜材の部分との間に施されていることを特徴とするペリクル光学素子。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭63-104058
ペリクル
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215986 出願人：三菱電機株式会社
特開昭63-104058

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