特許
J-GLOBAL ID:200903091291142533

3次元形状測定装置及び3次元形状測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 三彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-150286
公開番号(公開出願番号):特開2007-322162
出願日: 2006年05月30日
公開日(公表日): 2007年12月13日
要約:
【課題】鏡面反射する表面の形状を高精度に測定することができる3次元形状測定装置及び3次元形状測定方法を提供することを目的とする。【解決手段】測定対象物Tの鏡面反射する表面Sの形状を測定する3次元形状測定装置100であって、波状の濃度分布を有するパターンを表示する表示手段10と、表示手段10に表示されるパターンをシフトするシフト手段と、表示手段10に表示されるパターンを写し出した表面Sを異なる2方向から撮影する撮影手段20A,20Bと、撮影手段20A,20Bが表面Sの重複した範囲を撮影して得た画像データの対応付けにより当該範囲の表面Sの形状を求める表面形状解析手段と、を備える3次元座標計測装置100。【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定対象物の鏡面反射する表面形状を測定する3次元形状測定装置であって、 波状の濃度分布を有するパターンを表示する表示手段と、 該表示手段に表示されるパターンをシフトするシフト手段と、 前記表示手段に表示されるパターンを写し出した前記測定対象物の表面を少なくとも異なる2方向から撮影する撮影手段と、 該撮影手段が前記表面の重複した範囲を撮影して得た画像データの対応付けにより当該範囲の表面形状を求める表面形状解析手段と、を備えることを特徴とする3次元形状測定装置。
IPC (1件):
G01B 11/25
FI (1件):
G01B11/25 H
Fターム (22件):
2F065AA04 ,  2F065AA31 ,  2F065AA37 ,  2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065BB25 ,  2F065BB27 ,  2F065DD06 ,  2F065FF05 ,  2F065FF06 ,  2F065FF41 ,  2F065HH07 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL19 ,  2F065MM28 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ24 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13
引用特許:
出願人引用 (1件)
  • 三次元形状測定装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平10-082587   出願人:株式会社ニデック

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