静電的に動作するマイクロメカニカル・コンデンサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山川政樹 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-509573
公開番号（公開出願番号）：特表平11-513193
出願日： 1996年08月20日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】静電的に制御されマイクロマシニングされた、調節可能かつ広範囲な同調範囲を有するマイクロメカニカル・コンデンサである。このマイクロコンデンサの1つの構成は、互いに隣接した回転可能な極板(14)の組合せからなる。もう1つの構成は、1つまたは複数の共通の極板と隣接する様々なサイズの梁または極板の組合せである。極板の対が互いに回転または直線移動して、調節可能なキャパシタンスを提供する。極板の回転または移動は、DCまたは低周波数電圧を各極板に印加することにより静電的に生じる。これらのマイクロメカニカル・コンデンサで処理される信号は、通常はメガヘルツかそれより高い範囲となる。マイクロメカニカル・コンデンサをマイクロマシニングする工程は、集積回路を製作する際に利用する工程と同様である。

請求項（抜粋）：

基板表面上に形成された第1極板と、前記第1極板の中央に位置し、基板表面に対して垂直であり、前記第1極板から電気的に絶縁された、基板表面上に形成されたポストと、前記ポストの周囲に形成され、前記ポストおよび前記第1極板から物理的に分離された第2極板と、前記ポストおよび前記第2極板に接続され、基板表面と平行な角度で前記第2極板を回転可能に支持し、前記第2極板がばね張力下で前記ポストに対して回転できるようにする支持ばねの組合せと、前記第2極板を覆って位置するように形成され、前記第1極板と位置合わせされ、前記第2極板から物理的に分離した第3極板とを含むマイクロメカニカル・コンデンサ。

IPC (2件)：

H01G 5/06 , H01G 5/18

FI (2件)：

H01G 5/06 Z , H01G 5/18

引用特許：

出願人引用 (4件)

マイクロアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-183351 出願人：松下電器産業株式会社
特表昭62-501387
特開昭55-153316

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審査官引用 (3件)

マイクロアクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-183351 出願人：松下電器産業株式会社
特表昭62-501387
特開昭55-153316

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