AlN単結晶の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：深見久郎 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-341249
公開番号（公開出願番号）：特開2003-335600
出願日： 2002年11月25日
公開日（公表日）： 2003年11月25日
要約：

【要約】【課題】比較的大きなAlN単結晶を簡易にかつ低コストで製造する。【解決手段】 AlN単結晶の製造方法において、金属aとしてCr、Mn、Fe、Co、Cu、およびNiから選択された1種以上を含み、金属bとしてSc、Ti、V、Y、Zr、およびNbから選択された1種以上を含み、さらに成分cとしてAlを含むabc系合金の溶融液を窒素含有雰囲気下で調製し、そのabc系合金の融液を冷却するかまたは金属aとbの少なくともいずれかの蒸発によってAlN単結晶を晶出させる。

請求項（抜粋）：

金属aとしてCr、Mn、Fe、Co、Cu、およびNiから選択された1種以上を含み、金属bとしてSc、Ti、V、Y、Zr、およびNbから選択された1種以上を含み、さらに成分cとしてAlを含むabc系合金の融液を窒素含有雰囲気下で調製し、前記abc系合金の融液を冷却するかまたは前記金属aとbの少なくともいずれかの蒸発によってAlN単結晶を晶出させることを特徴とするAlN単結晶の製造方法。

IPC (4件)：

C30B 29/38 , C30B 19/02 , C30B 29/62 , H01L 21/208

FI (4件)：

C30B 29/38 C , C30B 19/02 , C30B 29/62 Q , H01L 21/208 D

Fターム (25件)：

4G077AA03 , 4G077AA04 , 4G077BE13 , 4G077CC04 , 4G077CC05 , 4G077CG01 , 4G077CG06 , 4G077EA02 , 4G077EA06 , 4G077EC08 , 4G077ED06 , 4G077HA02 , 4G077QA12 , 4G077QA38 , 5F053AA03 , 5F053AA25 , 5F053BB14 , 5F053BB24 , 5F053DD20 , 5F053FF04 , 5F053GG01 , 5F053HH01 , 5F053HH04 , 5F053LL01 , 5F053RR20

引用特許：

出願人引用 (6件)

特公平3-23519号公報
特公平5-12320号公報
窒化物単結晶及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-094078 出願人：住友電気工業株式会社

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審査官引用 (4件)

特開平1-308898
特公平3-023519
特公平5-012320

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