特許

J-GLOBAL ID：200903091340035330

砥粒固定型研磨定盤のコンディショニング方法

発明者： 山口 幸男 ,  林 実 ,  鬼頭 健児
出願人/特許権者： 株式会社ノリタケカンパニーリミテド
代理人 (1件)： 池田 治幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-089725
公開番号（公開出願番号）：特開平10-286755
出願日： 1997年04月08日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】【課題】砥粒と軟質金属粒子とを含む砥粒層を備えた砥粒固定型研磨定盤において高い加工能率が得られるコンディショニング方法を提供する。【解決手段】研磨層44を構成する砥粒52と同材料の砥粒70が結合剤74で結合されて成るダイヤ層68を備えたコンディショニング・リング62を用い、そのダイヤ層68を研磨層44に摺接させることによって研磨定盤34のコンディショニングが施される。

請求項（抜粋）：

第1砥粒および該第1砥粒の平均粒径よりも大きい平均粒径を有する軟質金属粒子が第1結合剤で結合されて成る研磨砥粒層を備えた砥粒固定型研磨定盤を用い、該研磨砥粒層の表面により構成される研磨面に被研磨材を摺接させることにより該被研磨材の被加工面をラッピング研磨するに際して、所定の加工能力が得られるように該研磨面を調整する砥粒固定型研磨定盤のコンディショニング方法であって、前記第1砥粒と同材料の第2砥粒が第2結合剤で結合されて成る調整砥粒層を備えたコンディショニング体を用い、該調整砥粒層を前記研磨砥粒層に摺接させることを特徴とする砥粒固定型研磨定盤のコンディショニング方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 砥粒固定型研磨定盤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-321909   出願人：株式会社ノリタケカンパニーリミテド
• 特開平4-087768