特許

J-GLOBAL ID：200903091355220835

圧電薄膜素子およびその製法

発明者： 山田 朗 ,  前田 智佐子 ,  梅村 敏夫 ,  内川 英興 ,  本多 俊久
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-280473
公開番号（公開出願番号）：特開平9-130199
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、振動部自体の機械的強度が高く、量産生に優れる等のメリットをもち、かつ圧電振動に対する拘束の小さく、圧電性の利用効率の高い圧電薄膜素子を実現する。【解決手段】 本発明は、高性能、かつ小型化が可能な圧電薄膜を応用した素子構造に関するものである。振動部における圧電振動が拘束されることを避けるために振動部下の基板部を除去した構造において、振動部を保持する支持体と、該支持体と振動部とをさらに支持する高強度の支持体とを別に設けることにより機械的に高い強度をもちながら、圧電振動を妨げることが少ない、圧電薄膜素子を実現するものである。

請求項（抜粋）：

第1の圧電薄膜駆動用電極、圧電薄膜、および第2の圧電薄膜駆動用電極からなる振動部と、該振動部を支持する第1および第2の支持体と、該2つの支持体を保持する基板とからなる圧電薄膜素子であって、(1)第1の圧電薄膜駆動用電極、圧電薄膜および第2の圧電薄膜駆動用電極が第2の支持体上に形成され、(2)第2の支持体は第1の支持体と基板とを覆って形成され第1の支持体によって保持され、かつ、第2の支持体には圧電薄膜の外縁を囲むようにして当該圧電薄膜の外縁に沿ってスリット状に複数個の開口孔が設けられ、さらに、前記開口孔を設けない部分は連結部とされており、(3)第1の支持体の下部の基板には空洞が形成されて第1の支持体は桟状に基板と連結されて形成され、(4)第1の支持体が当該第1の支持体の、前記振動部の下部に相当する部分が除去されていることを特徴とする圧電薄膜素子。

IPC (3件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02

FI (3件)：

H03H 9/17 F ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 圧電薄膜複合共振子およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-308693   出願人：株式会社村田製作所
• 赤外線検知素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-335388   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭61-127218
  
• 特開昭61-127216