特許

J-GLOBAL ID：200903091378396655

モデルパラメータ抽出方法およびモデルパラメータ抽出装置

発明者： 三浦 規之
出願人/特許権者： 沖電気工業株式会社
代理人 (1件)： 大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113077
公開番号（公開出願番号）：特開平10-301979
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】 モデルパラメータの再設定を自動化することにより、モデルパラメータ抽出装置の自動化を図る。【解決手段】 モデルパラメータ抽出装置100は、範囲指定部16と、組合せ指定部32と、シミュレータ18と、キャリブレータ20と、判定部22と、範囲更新部24とを具えている。この範囲更新部24は、検出部26、新規範囲指定部28および範囲移動部30を具えている。検出部26は、目標特性値および実測特性値の間の差が最小となるモデルパラメータを準最適値として検出する。新規範囲指定部28は、準最適値を中心とした前の調節範囲の範囲長の半分の範囲長の数値範囲を新規の調節範囲として指定する。範囲移動部30は、準最適値が調節範囲の端の値であったときに、この調節範囲の範囲長を保ったまま、準最適値がこの端とは別の端になるように、この調節範囲をずらす。

請求項（抜粋）：

モデルパラメータの調節範囲を指定する範囲指定部と、目標特性値を計算するシミュレータと、前記指定された調節範囲内でモデルパラメータを調節することにより前記計算された目標特性値に対するモデルパラメータのキャリブレーションを行うキャリブレータと、前記目標特性値および実測特性値間の収束判定を行う判定部と、前記判定部の収束判定結果に応じた前記モデルパラメータの調節範囲の再指定を行う範囲更新部とを具えたモデルパラメータ抽出装置であって、前記範囲更新部は、前記目標特性値および前記実測特性値間の差が最小となるモデルパラメータを準最適値として検出する検出部と、前記準最適値を中心とし、前記調節範囲の範囲長の半分の範囲長である数値範囲を、新規の調節範囲として指定する新規範囲指定部とを具えることを特徴とするモデルパラメータ抽出装置。

IPC (2件)：

G06F 17/50 ,  H01L 21/00

FI (2件)：

G06F 15/60 666 S ,  H01L 21/00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• パラメータ抽出方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-236681   出願人：株式会社東芝