超高感度電磁場検出用走査型プローブ顕微鏡とその探針

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：坂上正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-366408
公開番号（公開出願番号）：特開2003-254887
出願日： 2002年12月18日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】本発明の課題は、サブミクロンオーダー以下に微細化された回路内を流れる電流によって発生されるような微小な磁気信号を捉え、該回路を評価する方法とその装置を提供することにある。【解決手段】本発明の超高感度電磁場検出用走査型プローブ顕微鏡は、走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針の少なくとも一部に、低磁場で大きな磁歪を示す超磁歪材料を用いた構造とし、局所的な電流の変化による磁束の変化あるいは磁性体の磁束を、該超磁歪材料の変位信号として捉えると共に、他方で同領域の試料表面の形状を走査型プローブ顕微鏡の機能で検出し、前記超磁歪材料の変位信号から磁束情報と形状情報を分離して画像化する。

請求項（抜粋）：

微細な探針つきカンチレバーで試料表面近傍を走査し、カンチレバーのたわみ信号より試料表面の形状、物性情報を得る走査型プローブ顕微鏡において、前記探針の少なくとも一部に、低磁場で大きな磁歪特性を示す超磁歪材料を用いることにより、試料表面の局部における電磁場の状態を検出することを特徴とする超高感度電磁場検出用走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 13/22 , G01N 13/10 , G01R 31/302

FI (3件)：

G01N 13/22 B , G01N 13/10 G , G01R 31/28 L

Fターム (5件)：

2G132AA00 , 2G132AD01 , 2G132AD15 , 2G132AF06 , 2G132AF16

引用特許：

出願人引用 (2件)

特許第3141555号号公報
走査型プローブ顕微鏡検査法用の力感知プローブ
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-549903 出願人：モレキュラー・イメージング・コーポレーション, アリゾナ・ボード・オブ・リージェンツ

審査官引用 (3件)

特許第6448766号
特許第6579612号
特表平3-504762

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