シミ欠陥の検出方法及びその検出装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：小林久夫 , 佐々木宗治 , 木村三朗 , 大村昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-377916
公開番号（公開出願番号）：特開2005-140655
出願日： 2003年11月07日
公開日（公表日）： 2005年06月02日
要約：

【課題】高精度にシミ欠陥を検出することを可能にしたシミ欠陥の検出方法及びその検出装置を提供する。【解決手段】検査画像のシミ欠陥の強調のためのフィルタ処理を行う工程と、前記フィルタ処理された検査画像に基づいてシミ欠陥の有無を検出し又はシミ欠陥の程度を評価する工程とを備える。前記フィルタ処理は、縦方向の成分の輝度差を求めるための第1のフィルタと、横方向の成分の輝度差を求めるための第2のフィルタと、+45度の成分の輝度差を求めるための第3のフィルタと、-45度の成分の輝度差を求めるための第4のフィルタとによってそれぞれ畳み込み演算を行って、その演算結果の絶対値が最小値を示すフィルタの値を輝度値とする画像を生成する。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

検査画像のシミ欠陥強調のためのフィルタ処理を行う工程と、前記フィルタ処理された検査画像に基づいてシミ欠陥の有無を検出し又はシミ欠陥の程度を評価する工程とを備え、前記フィルタ処理は、前記検査画像の複数の方向において対象画素とその外周部周辺の画素との輝度差を求め、そして、前記輝度差の絶対値が最小の値となる方向の輝度差又は前記絶対値が相対的に小さな値となる方向の輝度差の値を輝度値とする画像を生成することを特徴とするシミ欠陥の検出方法。

IPC (4件)：

G01N21/88 , G01M11/00 , G06T1/00 , G06T7/60

FI (5件)：

G01N21/88 Z , G01N21/88 J , G01M11/00 T , G06T1/00 300 , G06T7/60 250A

Fターム (52件)：

2G051AA90 , 2G051AB02 , 2G051CA04 , 2G051EA12 , 2G051EA16 , 2G051EC03 , 2G051EC05 , 2G051ED03 , 2G051ED04 , 2G051ED14 , 2G051ED15 , 2G086EE10 , 5B057AA02 , 5B057BA02 , 5B057BA29 , 5B057CA02 , 5B057CA08 , 5B057CA12 , 5B057CA16 , 5B057CB02 , 5B057CB08 , 5B057CB12 , 5B057CB16 , 5B057CC01 , 5B057CD01 , 5B057CD05 , 5B057CE04 , 5B057DA03 , 5B057DA08 , 5B057DB02 , 5B057DB05 , 5B057DB09 , 5B057DC22 , 5B057DC32 , 5L096AA03 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA14 , 5L096EA03 , 5L096EA06 , 5L096EA35 , 5L096FA32 , 5L096FA33 , 5L096FA39 , 5L096FA53 , 5L096GA07 , 5L096GA08 , 5L096GA12 , 5L096GA26 , 5L096GA51 , 5L096GA55 , 5L096LA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

画像濃淡ムラ検出方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-057337 出願人：凸版印刷株式会社

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