特許
J-GLOBAL ID：200903091485556401
レジスト処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-148062
公開番号（公開出願番号）：特開平8-314152
出願日： 1995年05月23日
公開日（公表日）： 1996年11月29日
要約：
【要約】【目的】 濾材に添着された酸成分の消費のバラツキを抑えることにより、フィルタ部の有効寿命が長いレジスト処理装置を提供すること。【構成】 例えばリン酸を添着してなるシート体をプリ-ツ状に折り曲げた第1の濾材70と第2の濾材71とを、一方の濾材の山側部分Aと他方の濾材の谷側部分Bとを重ね、折り曲げた面を通気するように配置して第1のフィルタ部61を構成し、このフィルタ部61を介して外気を取り入れる。濾材は山側部分Aは谷側部分Bよりも酸成分の消費量が多いが、第1の濾材70と第2の濾材71とを、酸成分の消費量の多い部分と少ない部分とが上下に重なるように設けることにより、消費量のバラツキを低減し、濾材を有効に使うことができる。
請求項（抜粋）：
レジスト膜が塗布され露光された被処理体を、被処理体の搬入出口及び空気取り入れ口を備えたカバー体内にて現像するレジスト処理装置において、前記空気取り入れ口に設けられ、前記カバ-体の外の空気に含まれるアルカリ成分を除去するために酸成分を添着してなるシート体を用いたフィルタ部と、前記カバ-体の外の空気を前記フィルタ部を介してカバ-体の中に吸引する吸引手段と、を有し、前記フィルタ部は、各々複数の山側部分と谷側部分とを形成するようにプリ-ツ状に折り曲げた第1の濾材及び第2の濾材を、一方の濾材の山側部分と他方の濾材の谷側部分とが対向するように重ね、折り曲げた面を通気するように設けてなることを特徴とするレジスト処理装置。
IPC (5件)：
G03F 7/30 501
, B01D 46/52
, B01D 53/14
, G03F 7/004 503
, H01L 21/027
G03F 7/30 501
, B01D 46/52 A
, B01D 53/14 Z
, G03F 7/004 503
, H01L 21/30 502 J
, H01L 21/30 569 Z
, H01L 21/30 569 B
