特許
J-GLOBAL ID：200903091512233156

研磨終点検出装置および方法

発明者：
佐藤 右一

佐藤 右一 について


出願人/特許権者：
日本電気株式会社

日本電気株式会社 について


代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-072009
公開番号（公開出願番号）：特開平9-262743
出願日： 1996年03月27日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 被研磨物が研磨終点に達したことを研磨中の回転軸のトルク変化などから検出する。【解決手段】 被研磨物回転モータ3で被研磨物1を回転させながら回転する研磨プレート5に押しつけ、さらに均一性向上のため揺動モータ7により研磨プレート5上で内周側と外周側の間で周期的にキャリア4を往復移動させる。被研磨物回転モータ3のモータ電流をキャリア4の往復移動の1周期前のものと比較し、比較したモータ電流差が予め定めておいた閾値以下であるか否かを判定する事により、CPU10は研磨停止信号9を研磨装置12に対して出力し、研磨を終了させる。
請求項（抜粋）：
研磨プレートと、この研磨プレートを回転させる研磨プレートモータと、被研磨物を前記研磨プレートに押し付けながら回転させる被研磨物回転モータを備えたキャリアと、このキャリアを前記研磨プレート上で周期的に往復移動させる揺動手段とを有する研磨装置で前記被研磨物を研磨し、前記研磨装置の状態の変化を検出して前記被研磨物の研磨終点を検出する研磨終点検出方法において、前記研磨装置の状態の前記キャリアの往復移動の1周期前のものとの変化を閾値と比較して前記被研磨物の研磨終点を検出することを特徴とする研磨終点検出方法。
IPC (5件)：
B23Q 15/013 ,  B24B 37/04 ,  B24B 49/16 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 321
FI (5件)：
B23Q 15/013 ,  B24B 37/04 D ,  B24B 49/16 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/304 321 M
引用特許：
審査官引用 (5件)
  • 特開平4-193473
  • 研磨終点検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-106566   出願人：日本電信電話株式会社
  • 特開昭51-022173
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