特許
J-GLOBAL ID：200903091526996900
エネルギー分散型半導体X線検出器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136190
公開番号（公開出願番号）：特開平10-311877
出願日： 1997年05月10日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 ガスの流通に起因して連結管が振動しても、これがクライオスタット側に伝わらないようにしたエネルギー分散型半導体X線検出器を提供すること。【解決手段】 所定方向にスライドするクライオスタット4内に小型ガス循環式冷凍機5を設け、この冷凍機に対して連結管21を介してヘリウムガスを供給し、冷凍機によってX線検出素子8を冷却するようにしたエネルギー分散型半導体X線検出器3において、前記連結管21のうち、圧力変換バルブユニット18に接続される連結管本体部分21aを防振スタンド23に沿わせ、これに保持固定させるようにした。
請求項（抜粋）：
所定方向にスライドするクライオスタット内に小型ガス循環式冷凍機を設け、この冷凍機に対して連結管を介してヘリウムガスを供給し、冷凍機によってX線検出素子を冷却するようにしたエネルギー分散型半導体X線検出器において、前記連結管のうち、圧力変換バルブユニットに接続される連結管本体部分を防振スタンドに沿わせ、これに保持固定させたことを特徴とするエネルギー分散型半導体X線検出器。
引用特許：
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