特許

J-GLOBAL ID：200903091568147627

レジスト剥離剤

発明者： 原 靖
出願人/特許権者： 東ソー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-227567
公開番号（公開出願番号）：特開2002-040675
出願日： 2000年07月24日
公開日（公表日）： 2002年02月06日
要約：

【要約】【課題】 本発明の目的は、ヒドロキシルアミンを含有せず、優れたレジスト剥離性を示すとともに、アルミ合金やチタンに対して腐食を起こさないレジスト剥離剤を提供することである。【解決手段】N-アルキルモルホリンオキシドを必須成分とするレジスト剥離剤を製造し、用いる。

請求項（抜粋）：

N-アルキルモルホリンオキシドを必須成分とすることを特徴とするレジスト剥離剤。

IPC (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306

FI (3件)：

G03F 7/42 ,  H01L 21/30 572 B ,  H01L 21/306 D

Fターム (10件)：

2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096LA03 ,  5F043AA30 ,  5F043BB25 ,  5F043BB30 ,  5F043CC16 ,  5F043DD15 ,  5F043GG10 ,  5F046MA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特表平5-504204
  
• 特開昭63-186243
  

審査官引用 (3件)

• 特表平5-504204
  
• 特開昭63-186243
  
• ポジ型レジスト用剥離液
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-011554   出願人：東京応化工業株式会社