固体撮像素子

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松隈秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170343
公開番号（公開出願番号）：特開平7-030090
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：

【要約】【目的】固体撮像素子の遮光膜の薄膜化を可能にする。【構成】有効画素領域36の受光部1を除く他の領域上に遮光膜44が形成されてなる固体撮像素子において、遮光膜44を結晶配向性を引きつがないように複数の膜、例えばAl薄膜41,TiN薄膜42及びAl薄膜43の積層膜で形成する。

請求項（抜粋）：

有効画素領域の受光部を除く他の領域上に遮光膜が形成されてなる固体撮像素子において、前記遮光膜が結晶の配向性を引きつがない複数の膜で形成されて成ることを特徴とする固体撮像素子。

IPC (2件)：

H01L 27/148 , H04N 5/335

引用特許：

審査官引用 (2件)

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