特許

J-GLOBAL ID：200903091619556306

半導体テスタ装置のコンタクトピン

発明者： 吉川 芳一 ,  加賀美 徹也
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-116746
公開番号（公開出願番号）：特開平10-307147
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月17日
要約：

【要約】【課題】 安定した接触抵抗が得られ、耐摩耗性が向上され、加工精度が容易に得られる半導体テスタ装置のコンタクトピンを提供するにある。【解決手段】 テストヘッドとパフォーマンスボード、パフォーマンスボードと信号中継部品、信号中継部品とプローブカードとの間に使用されるコンタクトピンにおいて、柱状のコンタクトピン本体と、コンタクトピン本体の先端接触部分がコンタクトピン本体の軸方向に4個に分割されて設けられた第1,第2、第3,第4の先端接触部と、第1,第2、第3,第4の先端接触部のそれぞれの先端にコンタクトピン本体の軸方向の位置が互いに等しく軸に直交して設けられた第1,第2、第3,第4の平面部と、第1,第2、第3,第4の平面部と第1,第2、第3,第4の先端接触部とコンタクトピン本体とを覆って設けられ所定の材料からなるメッキ部とを具備したことを特徴とする半導体テスタ装置のコンタクトピンである。

請求項（抜粋）：

テストヘッドとパフォーマンスボード、パフォーマンスボードと信号中継部品、信号中継部品とプローブカードとの間に使用されるコンタクトピンにおいて、柱状のコンタクトピン本体と、該コンタクトピン本体の先端接触部分がコンタクトピン本体の軸方向に4個に分割されて設けられた第1,第2、第3,第4の先端接触部と、該第1,第2、第3,第4の先端接触部のそれぞれの先端にコンタクトピン本体の軸方向の位置が互いに等しく該軸に直交して設けられた第1,第2、第3,第4の平面部と、該第1,第2、第3,第4の平面部と前記第1,第2、第3,第4の先端接触部と前記コンタクトピン本体とを覆って設けられ所定の材料からなるメッキ部とを具備したことを特徴とする半導体テスタ装置のコンタクトピン。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-366767
  
• プローブ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-244157   出願人：東京エレクトロン山梨株式会社
• 特開昭63-046043
  
• 特開昭58-210631