塗布装置及び塗布方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡本啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337111
公開番号（公開出願番号）：特開平9-173927
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月08日
要約：

【要約】【課題】ロールコータ又はバーコータにより被塗布基板表面にフォトレジスト等を塗布する塗布装置に関し、コーティングロールの溝内に乾燥したレジストが残らないようにして、常に正常な塗布液の塗布を行う。【解決手段】基板26上に塗布液27を塗布する塗布装置であって、表面に凹部を有し、塗布液27を基板26に塗布する回転可能な第1の円柱体21と、第1の円柱体21の少なくとも凹部に、塗布液27を供給する塗布液供給手段22と、第1の円柱体21の回転方向とは反対方向に回転し、第1の円柱体21の凹部内の塗布液27を、凹部内から除去する第2の円柱体23とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、表面に凹部を有し、前記塗布液を前記基板に塗布する回転可能な第1の円柱体と、前記第1の円柱体の少なくとも前記凹部に、塗布液を供給する塗布液供給手段と、前記第1の円柱体の回転方向とは反対方向に回転し、前記第1の円柱体の凹部内の前記塗布液を、前記凹部内から除去する第2の円柱体とを備えたことを特徴とする塗布装置。

IPC (3件)：

B05C 1/02 102 , B05D 1/28 , H01L 21/027

FI (3件)：

B05C 1/02 102 , B05D 1/28 , H01L 21/30 564 Z

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平3-026375
特開平3-026375
木口塗工装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-087765 出願人：株式会社望月機工製作所

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