特許

J-GLOBAL ID：200903091641540960

制震ダンパ及び制震ダンパを備えた露光装置

発明者： 涌井 伸二
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-022812
公開番号（公開出願番号）：特開2002-227924
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2002年08月14日
要約：

【要約】【課題】 巨大な地震が発生しても、震動エネルギが直接に保護対象装置本体に入り込んでしまうことを防止できるようにする。【解決手段】 固定された一対のプレート2,12と、両プレート12,12の間に挟み込まれた震動吸収材13と、該震動吸収材13を両プレート12,12の接触面で摺動させるために保護対象である露光装置本体1に剛に取付けられたもう一つのプレート15とを備え、震動吸収材13が鉛であり、両プレート12,12の接触面には、複数の突起部14が設けられており、露光装置本体1の過大な揺れに基づきもう一つのプレート15が震動吸収材13に突入のうえ一体となることによって露光装置本体1の揺れを抑制する。

請求項（抜粋）：

固定部材と、該固定部材に接触配置された震動吸収材と、該震動吸収材を前記固定部材の接触面で摺動させるために保護対象装置本体に剛に取付けられた制震係合部材とを備え、前記保護対象装置本体の過大な揺れに基づき前記制震係合部材が前記震動吸収材に突入のうえ一体となることによって前記保護対象装置本体の揺れを抑制することを特徴とする制震ダンパ。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 Z ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 F

Fターム (6件)：

3J048AA05 ,  3J048AB01 ,  3J048AC06 ,  3J048DA04 ,  3J048EA07 ,  5F046AA23