特許
J-GLOBAL ID:200903091654937290
感放射線性樹脂組成物
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大井 正彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-146491
公開番号(公開出願番号):特開平10-333323
出願日: 1997年06月04日
公開日(公表日): 1998年12月18日
要約:
【要約】【課題】 例えば小径のフォトビアホールを高い精度で形成することができる優れた解像性を有し、アルカリ水溶液により現像することができ、耐めっき液性および耐熱性が高く、しかも導体配線が優れた密着性で形成される絶縁層を形成することのできる感放射線性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 本発明の感放射線性樹脂組成物は、アルカリ可溶性樹脂、例えばポリビニルフェノールおよび重量平均分子量が2000以上のポリビニルフェノール以外のフェノール樹脂の一方または両方からなるアルカリ可溶性樹脂と、架橋剤、例えば1分子内に複数の活性メチロール基を有するアミノ樹脂と、粒子状ゴム、例えばエポキシ化合物によって処理された架橋重合体よりなる粒子状ゴムと、液状ゴム、例えば数平均分子量が1000〜10000、ガラス転移点が-20°C以下の液状ゴムと、放射線重合開始剤とを含有する。
請求項(抜粋):
下記のA成分〜E成分を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。〔A成分〕アルカリ可溶性樹脂〔B成分〕架橋剤〔C成分〕粒子状ゴム〔D成分〕液状ゴム〔E成分〕放射線重合開始剤
IPC (6件):
G03F 7/004 501
, C08L 61/10
, C08L 61/28
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038
, H05K 3/46
FI (6件):
G03F 7/004 501
, C08L 61/10
, C08L 61/28
, G03F 7/027 502
, G03F 7/038
, H05K 3/46 T
引用特許:
審査官引用 (2件)
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輻射線感受性組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-077198
出願人:シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
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感光性樹脂組成物
公報種別:公開公報
出願番号:特願平5-222738
出願人:日本合成ゴム株式会社
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