特許
J-GLOBAL ID:200903091671701802

高さ測定方法、高さデータ処理方法及び高さ測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 卓
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-042730
公開番号(公開出願番号):特開平11-241916
出願日: 1998年02月25日
公開日(公表日): 1999年09月07日
要約:
【要約】【課題】 タクトタイムを大幅に向上させて正確な高さを測定することが可能な高さ測定方法を提供する。【解決手段】 光切断法により配線基板に印刷されたクリーム半田部の高さが測定される。そのために、まずクリーム半田の近傍の平坦部に第1のライン光が投光されその像112が撮像される。続いてクリーム半田部に第2のライン光が投光されその像113a、113bが撮像される。第1のライン光の像112から求められる平坦部の高さを基準にしてクリーム半田部113aの高さが求められる。この構成では、クリーム半田が形成されている平坦部113bと異る平坦部112の高さデータを基準にしてクリーム半田部113aの高さデータを求めているので、クリーム半田印刷前の平坦部113bの高さデータを求める必要がなく、タクトタイムを顕著に向上させることができる。
請求項(抜粋):
平坦部から突出する突出物を有する被測定物にライン光を投光し、ライン光によって切断される平坦部及び突出物を撮像して光切断法により平坦部からの突出物の高さを測定する高さ測定方法において、突出物近傍の平坦部に第1のライン光を投光してその像を撮像し、突出物に第2のライン光を投光してその像を撮像し、第2のライン光の像から求められる突出物の高さを第1のライン光の像から求められる平坦部の高さを基準にして算出することを特徴とする高さ測定方法。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/30
FI (2件):
G01B 11/24 F ,  G01B 11/30 C
引用特許:
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (11件)
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