入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：浅賀一樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-137409
公開番号（公開出願番号）：特開平10-054940
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年02月24日
要約：

【要約】【課題】検査すべき製品上に傾斜して向けられる入射照明の配向と傾斜との双方、特に配向の調節を可能とする新規な手段を有する改良型の表面照明器を提供する。【解決手段】円筒状の対物レンズハウジングの下方端を中心として同軸で多数の発光ダイオードを放射状半径方向に間隔をおいた円形列あるいはリング状に、かつ各リングのダイオードをハウジングの軸を中心として互いに等角間隔となるように配置し、作業台上に支持された標本上に光線が斜めに下に向うように発光ダイオードの発光端を作業台の上方に位置せしめる。ハウジングと同軸に配置された全体として扇形の多数の区画の所望の一または複数の区画でかつ区画内の所望の区分で弧状にダイオードが励起できるようにして照明の配向を変えうるように構成した。この場合に、コリメーダーレンズを各ダイオードの発光端に取付けてもよい。

請求項（抜粋）：

所定の離れた位置に置かれる標本の像を投射するための手段を収納する軸孔を有する第1のハウジングと、この第1のハウジングを囲みその一端と同軸でかつこの一端に隣接して置かれた開口端を有する第2のハウジングと、互いに間隔を置いて第2のハウジングに付けられていてそれぞれが発光端を有する多数の光源とを有し、第1のハウジングを囲んでその軸孔と同軸で放射状半径方向に間隔を置きかつ該軸孔の軸に対して直角に延びる共通の面上にある多数の円形状の列に上記した発光端は配置され、励起されたとき光線を上記軸孔の軸と実質的に平行にかつ第2のハウジングの開口端の方に向け、第2のハウジングの開口端に光源の発光端と対面するように付けられたフレネルレンズを更に有し、光源からの光線はこのフレネルレンズを通って上記した所定の位置に置かれる標本の方に向かって標本上にその焦点が合わされ、かつ上記した光源を選択的に励起するための制御手段を更に有してなり、フレネルレンズによって標本上に向けられる照明の量と配向が制御されるように構成されてなることを特徴とする入射照明の配向と傾斜を調節する手段を備えた表面照明器。

IPC (2件)：

G02B 21/10 , G01B 11/00

FI (2件)：

G02B 21/10 , G01B 11/00 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-272412
ボンデイングワイヤ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-308358 出願人：株式会社新川
照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-129081 出願人：株式会社トプコン

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