特許

J-GLOBAL ID：200903091757763312

制御システム

発明者： 平山 博文
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 田澤 博昭 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-085188
公開番号（公開出願番号）：特開2001-273002
出願日： 2000年03月24日
公開日（公表日）： 2001年10月05日
要約：

【要約】【課題】 従来のPID制御では、例えば恒温室1の温度を複数のヒータ5,・・・,5でPID制御しようとした場合に、複数のヒータ5,・・・,5の加熱能力の差などに起因して温度勾配が発生し、その温度勾配に起因するオーバシュートやアンダーシュートを効果的に抑制することができないなどの課題があった。【解決手段】 1つのPID演算回路12を目標定常温度に基づいて制御すると共に、他のPID演算回路17は上記PID演算回路12に係る検出温度に基づいて制御するものである。

請求項（抜粋）：

制御対象の状態を検出した検出値が目標定常値に収束するように制御を行う制御システムにおいて、上記目標定常値および検出値が入力され、この検出値が上記目標定常値に収束するように変化する操作量を生成し、上記制御対象の制御を行う主演算手段と、上記主演算手段へ上記検出値を出力する主検出手段と、当該主検出手段の検出値および他の検出値が入力され、この他の検出値が当該検出値に収束するように変化する操作量を生成し、上記制御対象の制御を行う従演算手段と、上記従演算手段へ上記他の検出値を出力する従検出手段とを備える制御システム。

IPC (4件)：

G05B 11/32 ,  G05B 11/36 501 ,  H01L 21/324 ,  G05D 23/19

FI (4件)：

G05B 11/32 A ,  G05B 11/36 501 Q ,  H01L 21/324 T ,  G05D 23/19 G

Fターム (32件)：

5H004GA03 ,  5H004GA35 ,  5H004GB15 ,  5H004HA01 ,  5H004HB01 ,  5H004JA04 ,  5H004JA13 ,  5H004JA22 ,  5H004JB08 ,  5H004KA71 ,  5H004KB02 ,  5H004KB04 ,  5H004KB06 ,  5H004LA15 ,  5H004LA18 ,  5H323AA27 ,  5H323AA40 ,  5H323BB05 ,  5H323CA06 ,  5H323CB02 ,  5H323CB42 ,  5H323DA01 ,  5H323EE05 ,  5H323EE06 ,  5H323FF01 ,  5H323FF10 ,  5H323GG02 ,  5H323KK05 ,  5H323LL01 ,  5H323LL02 ,  5H323LL07 ,  5H323MM06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 温度制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-338047   出願人：コマツ電子金属株式会社