特許

J-GLOBAL ID：200903091761742117

基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法

発明者： 筒井 英史 ,  阿部 隆
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 上柳 雅誉 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-308720
公開番号（公開出願番号）：特開2008-122307
出願日： 2006年11月15日
公開日（公表日）： 2008年05月29日
要約：

【課題】本発明は、接触式の測定装置と、撮像装置を用いた測定装置との間で、両者間の基準位置の校正を正確且つ容易に実行できる、基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置、基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法を実現する。【解決手段】本発明による基準位置校正治具は、測定対象物に接触して形状を測定する接触式形状測定装置、及び測定対象物の画像を取得して形状を測定する画像認識形状測定装置において基準位置を校正するための基準位置校正治具であって、平坦面と、当該平坦面に形成されており、当該平坦面に垂直な周縁壁を有する円形の凹部又は円柱と、を備える。外形測定装置、外観検査装置、測定対象物保持装置は、当該基準位置校正治具を備える。基準位置校正方法、外形測定方法、及び外観検査方法は、これらの基準位置校正治具、外形測定装置、外観検査装置、又は測定対象物保持装置を用いる。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

測定対象物に接触して形状を測定する接触式形状測定装置、及び前記測定対象物の画像を取得して形状を測定する画像認識形状測定装置において基準位置を校正するための基準位置校正治具であって、 平坦面と、当該平坦面に形成されており、当該平坦面に垂直な周縁壁を有する円形の凹部と、を備えることを特徴とする基準位置校正治具。

IPC (3件)：

G01B 21/20 ,  G01B 5/00 ,  G01B 11/00

FI (3件)：

G01B21/20 Z ,  G01B5/00 P ,  G01B11/00 H

Fターム (32件)：

2F062AA01 ,  2F062AA41 ,  2F062AA51 ,  2F062DD21 ,  2F062EE01 ,  2F062FF01 ,  2F062MM02 ,  2F065AA01 ,  2F065AA17 ,  2F065AA51 ,  2F065EE00 ,  2F065FF04 ,  2F065GG00 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM01 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR03 ,  2F065TT03 ,  2F069AA13 ,  2F069AA15 ,  2F069AA61 ,  2F069FF07 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069JJ00 ,  2F069NN00 ,  2F069PP02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 3次元形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-172276   出願人：キヤノン株式会社
• 外観検査装置および外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-049080   出願人：大日本スクリーン製造株式会社