特許
J-GLOBAL ID：200903012848395386
外観検査装置および外観検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小笠原 史朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-049080
公開番号（公開出願番号）：特開2006-234553
出願日： 2005年02月24日
公開日（公表日）： 2006年09月07日
要約：
【課題】 安価な装置を用いて正確な検査を行うことのできる外観検査装置および外観検査方法を提供する。【解決手段】 ステージ部21は、可撓性を有する薄板状の被検査物を載置するステージ面を形成し、載置された被検査物の一方主面とステージ面とを密着保持する。撮像カメラ31は、ステージ面に密着保持された被検査物を撮像する。X軸方向駆動機構35、Y軸方向駆動機構23、およびZ軸方向駆動機構36は、それぞれの方向にステージ面および撮像カメラ31の少なくとも一方を相対的に移動させる。制御部4は、ステージ面における複数位置における変位データに基づいて、撮像カメラ31とステージ面との間を等距離に保ちながらX軸方向駆動機構35、Y軸方向駆動機構23、およびZ軸方向駆動機構36を制御する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
可撓性を有する薄板状の部材を被検査物として検査する外観検査装置であって、
被検査物を載置するステージ面が形成されたステージ部と、
載置された被検査物の一方主面と前記ステージ部のステージ面とを密着保持する密着手段と、
前記ステージ面に密着保持された被検査物を撮像する撮像手段と、
前記ステージ面および前記撮像手段の少なくとも一方を相対的に移動させる相対移動手段と、
前記ステージ面における複数位置それぞれの変位データを記憶する記憶手段と、
前記変位データに基づいて、前記撮像手段と前記ステージ面との間を等距離に保ちながら前記ステージ面および前記撮像手段の少なくとも一方が相対的に移動するように相対移動手段を制御する制御部とを備える、外観検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N21/956 Z
, G01B11/30 A
2F065AA06
, 2F065AA09
, 2F065AA24
, 2F065AA47
, 2F065AA49
, 2F065BB02
, 2F065CC01
, 2F065CC02
, 2F065CC18
, 2F065FF04
, 2F065FF10
, 2F065FF67
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065JJ26
, 2F065QQ17
, 2G051AA56
, 2G051AA65
, 2G051AB02
, 2G051CA04
, 2G051CA11
, 2G051CB02
, 2G051CD04
, 2G051DA07
