特許

J-GLOBAL ID：200903091808718210

リング状照明装置

発明者： 細井 正久
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-347639
公開番号（公開出願番号）：特開平7-190923
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 プリント基板などの被検査対象物の表面を撮像しパターン検査する際に、検査箇所の周囲を直接照明する別の照明を不要とし、被検査対象物の表面に直接照射されない不要な光を有効に利用して、光利用率を向上させることができるリング状照明装置を提供すること。【構成】 光検査対象物8の突起部8Aの上方箇所を中心とする環状に形成され光を放出する光照射部2と、前記光照射部2に設けられ、前記突起部8Aに直接照射されない前記光を乱反射させて該突起部8A及びその周辺の平坦部8Bに導く乱反射鏡9と、前記乱反射鏡9を貫通して前記光照射部2の中央部に設けられた撮像用の透過開口10とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査対象物の検査箇所の上方箇所を中心とする環状に形成され光を放出する光照射部と、前記光照射部に設けられ、前記検査箇所に直接照射されない前記光を乱反射させて該検査箇所及びその周辺の被検査対象物箇所に導く乱反射鏡と、前記乱反射鏡を貫通して前記光照射部の中央部に設けられた撮像用の透過開口と、を備えたことを特徴とするリング状照明装置。

IPC (4件)：

G01N 21/01 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/84 ,  G01N 21/88

引用特許：

審査官引用 (2件)

• クリーム半田の外観検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-106339   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-340450