特許
J-GLOBAL ID：200903091827727572

紫外レーザー光源

発明者：
大和 壮一

大和 壮一 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-140805
公開番号（公開出願番号）：特開平8-334803
出願日： 1995年06月07日
公開日（公表日）： 1996年12月17日
要約：
【要約】【目的】露光機の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを備えた紫外光を、長時間安定して発生することができ、かつ、小型でメインテナンスが容易な紫外レーザー光源を提供する。【構成】10本×10本で計100本のレーザー要素から構成されており、各レーザー要素は、可視光あるいは赤外光の長波長光を発生するレーザー光発生部100と、発生したレーザー光を紫外光へ変換する波長変換部14とを有し、レーザー光発生部100は、半導体レーザー11、光ファイバー12、及び、固体レーザー13を有し、波長変換部14は、入射光の波長を変換して出力する非線形結晶を含んで構成される。
請求項（抜粋）：
赤外から可視までの波長範囲内の光を発生するレーザー光発生部と、前記発生した光を非線形光学結晶を用いて紫外光に波長変換する波長変換光学系とを有するレーザー要素を複数並列に束ねて構成したことを特徴とする紫外レーザー光源。
IPC (5件)：
G02F 1/37 ,  H01S 3/07 ,  H01S 3/108 ,  H01S 3/16 ,  H01S 3/18
FI (5件)：
G02F 1/37 ,  H01S 3/07 ,  H01S 3/108 ,  H01S 3/16 ,  H01S 3/18
引用特許：
審査官引用 (5件)
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