特許

J-GLOBAL ID：200903091833878353

オゾン水処理装置および洗浄処理装置

発明者： 西部 幸伸 ,  磯 明典
出願人/特許権者： 芝浦メカトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-181700
公開番号（公開出願番号）：特開2002-001318
出願日： 2000年06月16日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】【課題】 この発明はオゾン水からオゾンガスを効率よく分解できるようにしたオゾン水処理装置を提供することを目的とする。【解決手段】 オゾン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオゾン水管17と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプ18とを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン水管はこの紫外線ランプの外周面に巻回される螺旋状である。

請求項（抜粋）：

オゾン水に含まれるオゾンガスを除去するためのオゾン水処理装置において、オゾン水を流すオゾン水管と、このオゾン水管に流れるオゾン水に紫外線を照射してオゾンガスを分解する紫外線ランプとを具備し、上記紫外線ランプは直管状で、上記オゾン水管はこの紫外線ランプの外周面に巻回される螺旋状であることを特徴とするオゾン水処理装置。

IPC (3件)：

C02F 1/32 ZAB ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648

FI (3件)：

C02F 1/32 ZAB ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 G

Fターム (3件)：

4D037AA13 ,  4D037AB11 ,  4D037BA18

引用特許：

審査官引用 (1件)

• オゾン水処理装置およびそれを用いた洗浄処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-254651   出願人：株式会社芝浦製作所