特許

J-GLOBAL ID：200903091849441508

研磨用シート

発明者： 大野 隆央 ,  定延 治朗
出願人/特許権者： 帝人株式会社
代理人 (1件)： 前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-066306
公開番号（公開出願番号）：特開2002-270550
出願日： 2001年03月09日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 十分な研磨剤保持量を有し、研磨経時により研磨精度が下がらず均一研磨可能な研磨用シートを提供する。【解決手段】 メタフェニレンイソフタルアミド系ポリマーからなり、多数の均一な微細孔を表面及び内部に有し、空隙率が40〜90%で、表面開孔率が10〜70%である多孔膜を単独または積層し研磨用シートとする。

請求項（抜粋）：

メタフェニレンイソフタルアミド系ポリマーからなり、多数の均一な微細孔を表面及び内部に有し、空隙率が40〜90%で、表面開孔率が10〜70%である多孔膜からなることを特徴とする研磨用シート。

IPC (6件)：

H01L 21/304 622 ,  B24B 37/00 ,  C08J 5/14 CFG ,  C08J 9/28 CFG ,  C08J 9/28 101 ,  C08L 77:06

FI (6件)：

H01L 21/304 622 F ,  B24B 37/00 C ,  C08J 5/14 CFG ,  C08J 9/28 CFG ,  C08J 9/28 101 ,  C08L 77:06

Fターム (15件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA17 ,  4F071AA55 ,  4F071AG28 ,  4F071AH19 ,  4F071DA20 ,  4F074AA71 ,  4F074AH03 ,  4F074CB43 ,  4F074CB45 ,  4F074CC32Y ,  4F074DA02 ,  4F074DA56

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 金属表面の研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-027131   出願人：帝人株式会社
• 研磨用シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-153536   出願人：帝人株式会社