特許

J-GLOBAL ID：200903091866035572

レーザプラズマX線源

発明者： 藤崎 久雄 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-229174
公開番号（公開出願番号）：特開平7-085990
出願日： 1993年09月14日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
要約：

【要約】【目的】 プラズマで発生したX線の利用効率を高める。【構成】 集光したレーザ光Lを標的材5に照射してプラズマPを生成し、このプラズマPで発生したX線χを取出部3から取り出すレーザプラズマX線源において、プラズマPの生成位置から取出部3に向かうX線χ以外のX線χrを集光して取出部3に向けて導く集光手段11を設けた。

請求項（抜粋）：

集光したレーザ光を標的材に照射してプラズマを生成し、このプラズマで発生したX線を取出部から取り出すレーザプラズマX線源において、前記プラズマ生成位置から前記取出部に向かうX線以外のX線を集光して前記取出部に向けて導く集光手段を備えたことを特徴とするレーザプラズマX線源。

IPC (2件)：

H05G 2/00 ,  G21K 5/02

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平4-112498
  
• 特開平4-258799
  
• 多層膜反射鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-251143   出願人：日本電信電話株式会社
• X線多層膜反射鏡の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-256695   出願人：株式会社ニコン