特許
J-GLOBAL ID：200903091867253042

液晶表示装置用アレイ基板及びその製造方法

発明者：
オ-ナム・クォン

オ-ナム・クォン について

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キョン-ムク・リ

キョン-ムク・リ について

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ナク-ボン・チェ

ナク-ボン・チェ について


出願人/特許権者：
エルジー フィリップス エルシーディー カンパニー リミテッド

エルジー フィリップス エルシーディー カンパニー リミテッド について


代理人 (5件)： 曾我 道照 ,  曾我 道治 ,  古川 秀利 ,  鈴木 憲七 ,  梶並 順
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-301679
公開番号（公開出願番号）：特開2004-163901
出願日： 2003年08月26日
公開日（公表日）： 2004年06月10日
要約：
【課題】動作特性が改善されて画質不良が発生しない高品質の液晶表示装置を製作する。【解決手段】本発明は液晶表示装置用アレイ基板に構成されるゲート配線及びデータ配線のような金属配線を銅/モリブデン合金の二重層で構成することである。このような構成は、銅層がこの銅層の下にまず蒸着されたモリブデン合金層により接触特性が改善されて浮き上がる不良が発生しなくて、二階をエッチングする工程間エッチング溶液により基板の表面が削られる現象が発生しない。また、モリブデン合金層はモリブデン層だけを用いる時より耐化学性が強くて銅層の下部でオーバーエッチングされる不良が発生しない。したがって、基板表面が削られて発生するむら不良を解消できて高画質の液晶表示装置を製作できて、配線の浮き上がり不良を防止できて製品の収率が改善される長所がある。【選択図】図10E
請求項（抜粋）：
基板上にモリブデン合金(Mo-alloy)層と銅(Cu)が順次蒸着されてパターニングされたゲート電極及びゲート配線と; 前記基板上に形成されて前記ゲート電極とゲート配線を覆うゲート絶縁膜と; 前記ゲート電極上部のゲート絶縁膜上に順次配置したアクティブ層及びオーミックコンタクト層と; 前記オーミックコンタクト層の一側にかけて構成されたソース電極と、これとは所定間隔離隔されたオーミックコンタクト層のまた他の一側に形成されたドレーン電極と、ソース電極と連結して前記ゲート配線と垂直に交差して画素領域を定義するデータ配線と; 前記ソース及びドレーン電極とデータ配線の上部に構成されて、前記ドレーン電極の一部を露出するドレーンコンタクトホールが形成された保護膜と; 前記露出されたドレーン電極とドレーンコンタクトホールを通して接触しながら前記画素領域に配置する透明な画素電極とを含むことを特徴とする液晶表示装置用アレイ基板。
IPC (8件)：
G02F1/1368 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1345 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L29/423 ,  H01L29/49 ,  H01L29/786
FI (12件)：
G02F1/1368 ,  G02F1/1343 ,  G02F1/1345 ,  H01L21/28 301R ,  H01L29/78 617M ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 617T ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/78 616U ,  H01L29/78 616V ,  H01L29/58 G ,  H01L21/88 M
Fターム (87件)：
2H092GA29 ,  2H092HA04 ,  2H092JA24 ,  2H092JA35 ,  2H092JA36 ,  2H092JA37 ,  2H092JA40 ,  2H092JA41 ,  2H092JA44 ,  2H092JA46 ,  2H092JA47 ,  2H092JB56 ,  2H092JB57 ,  2H092KA05 ,  2H092KA18 ,  2H092KB24 ,  2H092KB25 ,  2H092NA01 ,  2H092NA28 ,  2H092NA29 ,  4M104AA09 ,  4M104BB16 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD34 ,  4M104DD64 ,  4M104FF08 ,  4M104FF13 ,  4M104GG20 ,  4M104HH14 ,  4M104HH16 ,  5F033GG04 ,  5F033HH11 ,  5F033HH12 ,  5F033HH14 ,  5F033HH20 ,  5F033JJ01 ,  5F033JJ11 ,  5F033JJ12 ,  5F033JJ14 ,  5F033JJ20 ,  5F033KK05 ,  5F033LL02 ,  5F033MM05 ,  5F033MM19 ,  5F033PP19 ,  5F033QQ08 ,  5F033QQ10 ,  5F033QQ19 ,  5F033RR04 ,  5F033RR06 ,  5F033VV06 ,  5F033VV15 ,  5F033XX10 ,  5F110AA03 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110CC07 ,  5F110CC08 ,  5F110DD02 ,  5F110EE02 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE23 ,  5F110EE43 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF27 ,  5F110GG02 ,  5F110GG15 ,  5F110GG42 ,  5F110HK02 ,  5F110HK06 ,  5F110HK09 ,  5F110HK16 ,  5F110HK21 ,  5F110HK22 ,  5F110HK32 ,  5F110HL07 ,  5F110HL22 ,  5F110NN02 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN27 ,  5F110NN33 ,  5F110NN36 ,  5F110NN73
引用特許：
審査官引用 (8件)
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