特許

J-GLOBAL ID：200903091916431482

局部腐食深さ自動測定方法およびそのための装置

発明者： 武藤 泉 ,  伊藤 叡 ,  佐藤 栄次 ,  室田 昭治
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 矢葺 知之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-189412
公開番号（公開出願番号）：特開平6-034552
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 ステンレス鋼など耐食材料表面に多数発生する局部腐食深さの自動測定装置を提供する。【構成】 局部腐食深さを顕微鏡を用いて測定するにあたり、腐食の生じていない面に焦点を合わせた状態で試験片を移動させ、その際の試料からの反射光量の変化により局部腐食の有無を判定し、目的とする大きさの腐食孔の存在とともに試験片の移動を停止し、腐食孔の深さを対物レンズの移動量と反射光量との関係から計測する。顕微鏡としては、非共焦点型および共焦点型を使用するが、共焦点型を用いると腐食孔検出および深さ測定の精度が極めて高くなる。さらに、光源として微小スポットサイズのレーザー光を使用し視野内を走査し、視野内を多数の画素に分割することにより、腐食孔の各部の深さを計測できる。【効果】 従来法に比べ、短時間で高精度な腐食孔の深さ測定が可能である。多数の腐食孔を自動的に計測できる。

請求項（抜粋）：

材料表面に発生する孔食など局部腐食の深さを顕微鏡によって自動測定する方法であって、被検体(試験片)の局部腐食の生じていない面に光源からの光の焦点を合わせながら被検体を被検体の面内で移動させるとともに被検体からの反射光の強度変化をモニターすることによって、観察視野内に予定された大きさ(閾値)以上の大きさを有する局部腐食が存在するか否かを判定し、閾値以上の大きさを有する局部腐食が存在するときは、被検体の移動を停止させ、前記局部腐食の深さを測定するためのプロセスに移行し、該プロセスにおいては、対物レンズの移動(変位)量および反射光の光量との関係から局部腐食の深さを検出するようにしたことを特徴とする局部腐食深さ自動測定方法。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-199399
  
• 特開昭63-313041
  
• 特開昭63-241407