特許
J-GLOBAL ID：200903091920248552
ポジ型感光性組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萩野 平 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-019001
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211864
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：
【要約】【課題】 露光後の現像性が改善され溶解促進効果が向上し、更に露光後経時によるパターン形状変化、感度変化がなくなり、それにより感度、解像度、パターンプロファイルが向上したポジ型感光性組成物を提供することである【解決手段】 特定の繰り返し単位を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
請求項（抜粋）：
下記一般式(I)、(II)及び(III) で示される繰り返し単位を有する樹脂、及び活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】ここで、R1 は水素原子又はメチル基を表す。R2 は-C(=O)-O-C(R6 )(R7 )(R8 )又は-O-R5 -C(=O)-O-C(R6 )(R7 )(R8 )を表す。R3 は-O-C(R6 )(R7 )(R8 )、-O-Si(R6 )(R7 )(R8 )又は-O-C(R9 )(R10)-OR11を表す。R4 は水素原子、ハロゲン原子、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アシル基又はアシロキシ基を表す。R5 はアルキレン基を表す。R6 〜R10は各々同じでも異なってもよく、水素原子、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基を表し、ここで、R6 〜R8 のうち少なくとも2つは水素原子以外の基である。R11はアルキル基又はアリール基を表す。R6 〜R8 、及びR9 〜R11のうち2つが結合して環を形成してもよい。nは1〜3の整数を表す。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F 7/039
, H01L 21/30 502 R
