特許
J-GLOBAL ID：200903091922888761

基板処理装置

発明者：
光吉 一郎

光吉 一郎 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-351998
公開番号（公開出願番号）：特開2008-166368
出願日： 2006年12月27日
公開日（公表日）： 2008年07月17日
要約：
【課題】基板の搬入および搬出を迅速に行うことが可能な反転装置、およびそれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】 反転ユニットRT1,RT2は、固定板32、固定板32の一面に対向するように設けられた第1可動板36a、固定板32の他面に対向するように設けられた第2可動板36bおよびロータリアクチュエータ38を含む。ロータリアクチュエータ38は、第1可動板36a、第2可動板36bおよび固定板32を水平軸HAの周りで回転させる。第1可動板36aと固定板32との間の距離M2および第2可動板36bと固定板32との間の距離M3は、基板の搬出入を行うメインロボットの2つのハンドの高さの差とほぼ等しく設定されている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
基板を第1の軸に垂直な状態で保持する第1の保持機構と、 基板を前記第1の軸に垂直な状態で保持する第2の保持機構と、 前記第1および第2の保持機構を前記第1の軸の方向に重なるように支持する支持部材と、 前記支持部材を前記第1および第2の保持機構とともに前記第1の軸と略垂直な第2の軸の周りで一体的に回転させる回転装置とを備えることを特徴とする反転装置。
IPC (3件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/677
FI (4件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 648A ,  H01L21/304 643A ,  H01L21/68 A
Fターム (15件)：
5F031CA02 ,  5F031FA02 ,  5F031GA02 ,  5F031GA10 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA50 ,  5F031HA06 ,  5F031HA23 ,  5F031HA48 ,  5F031KA03 ,  5F031MA23 ,  5F031PA23
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (1件)

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