特許
J-GLOBAL ID：200903029822169108

基板反転装置、基板搬送装置、基板処理装置、基板反転方法、基板搬送方法および基板処理方法

発明者：
橋本 光治

橋本 光治 について


出願人/特許権者：
大日本スクリーン製造株式会社

大日本スクリーン製造株式会社 について


代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-183399
公開番号（公開出願番号）：特開2006-012880
出願日： 2004年06月22日
公開日（公表日）： 2006年01月12日
要約：
【課題】 少ない工程数および簡易な構成で基板を確実に反転させることができ、かつ小型化が可能な基板反転装置および基板反転方法を提供することである。【解決手段】 第2の可動部材75に設けられた複数の基板支持ピン73b上に基板Wが支持される。次に、第1の可動部材74に設けられた複数の基板支持ピン73aに複数の基板支持ピン73bが近接するように、第1および第2の可動部材74,75が互いに移動される。次に、基板支持ピン73a,73bとの間に基板Wが保持された状態で、第1および第2の可動部材74,75が反転される。そして、複数の基板支持ピン73a,73bとが互いに離間するように第1および第2の可動部材74,75が相対的に移動される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板を反転させる基板反転装置であって、 互いに対向するように設けられた第1および第2の可動部材と、 前記第1の可動部材に設けられ、基板の外周部を支持する複数の第1の支持部と、 前記第2の可動部材に設けられ、基板の外周部を支持する複数の第2の支持部と、 前記複数の第1の支持部と前記複数の第2の支持部とが互いに離間した第1の状態と、前記複数の第1の支持部と前記複数の第2の支持部とが互いに近接した第2の状態とに選択的に移行するように、前記第1および第2の可動部材の少なくとも一方を他方に対して相対的に移動させる駆動手段と、 前記第2の状態で、前記第1および第2の可動部材を反転させる反転手段とを備えたことを特徴とする基板反転装置。
IPC (2件)：
H01L 21/683 ,  H01L 21/304
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/304 648A
Fターム (19件)：
5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA44 ,  5F031HA24 ,  5F031HA27 ,  5F031HA28 ,  5F031HA29 ,  5F031HA46 ,  5F031HA48 ,  5F031HA59 ,  5F031MA04 ,  5F031MA23 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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